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国产光刻机攻克技术难关!贺荣明:“中国芯”时代快要到来了

时间:2020-05-01 00:38:33

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国产光刻机攻克技术难关!贺荣明:“中国芯”时代快要到来了

“前,世界上只有少数国家能够制造光刻机,且长期以来对中国实施技术限制。当时,我们国家长期依赖进口,这样下去不利于国家的战略安全和产业安全,我们只能自己研究。”上海微电子装备有限公司董事长贺荣明说到。

用中国人的光刻机造中国芯

随着信息社会的迅速发展,我们眼看着身边的手机、电脑、电视等各种电子设备越来越“迷你”越先进,手中的“大哥大”到现在仅仅几个硬币厚的智能手机,从老式的矮胖电视到如今轻薄的液晶电视,都不离开集成电路的发展,也就是我们平时所说的“芯片”。

从1958年世界上第一块集成电路问世以来,随着科技的不断发展,它的体积就开始越来越小,当然性能是越来越强大。

什么是光刻机?简单说,它是制造集成电路,也就是芯片制造最关键的设备之一。每颗芯片诞生之始,都要经过光刻机的锻造。就在那电光火石之间,母版上复杂的电路设计图形转化为硅片上细微繁密的沟壑纹理。可以说,如果没有“中国光刻机”,那么制造“中国芯”也就无从谈起。

但是在前,世界上只有少数国家能够制造光刻机,且长期以来对中国实施技术限制。当时我们国家只能够长期依赖进口,每年进口额高达2000亿美元,而且继续这样下去非常不利于国家的战略安全和产业安全。

所以在2002年的时候,光刻机被列入国家863重大科技攻关计划,由科技部和上海市共同推动成立上海微电子装备有限公司(简称“SMEE”)来承担,为实现“用中国人的光刻机造中国芯”的梦想,贺荣明带着几位满怀梦想的“战友”来到张江,承担起制造振兴国家民族的微电子装备产业,开始了艰难的光刻机研发之路。

由于国内对于这个行业真是是一片空白,不管是专业的科研人员,还是零件的供应链,全部都需要从头开始,再加上西方国家在此行业一直对中国实施技术封锁,一切都让贺荣明无法下手。

2002年的时候,贺荣明去德国考察时,有工程师告诉他:“给你们全套图纸,也做不出来。”

多次碰壁后,贺荣明明白,“唯一的出路就是走创新之路。”

贺荣明还记得那个时刻,“,当光刻机的第一束光曝出来时,我们都热泪盈眶。”国家启动了“02”科技重大专项予以衔接持续攻关。,首台光刻机样机问世,在全世界为数不多的光刻机厂商名单中,第一次出现了中国企业名字:SMEE。

经过十七年的“卧薪尝胆”,潜心研发,我国已基本掌握了高端光刻机的集成技术,并部分掌握了核心部件的制造技术,成为集光机电等多学科尖端技术于一体的“智能制造业中的珠穆朗玛峰”。

谈到这十七年来的生活,贺荣明笑着说,“除了出差,每天早上7点出门,晚上10点回家,周六保证不休息,周日休息不保证,这就是我十几年生活的全部。”

谈到初心,贺荣明笃定地说:“我的梦想,是让国际同行在谈到我们时,增加一份对中国科技工作者的尊重。”

“十二五”科技成就展览上,SMEE生产的中国最好的光刻机,与中国的大飞机、登月车并列。它的加工精度是90纳米,相当于上市的奔腾四CPU的水准。但是要注意的是,国外已经做到了十几纳米。

目前全世界高精度光刻机产自ASML、尼康和佳能三家;顶级光刻机由ASML垄断。

“发展光刻机,需要高素质的人群。所以我们做来做去,做最多的是培养人,改变人。”贺荣明说

近年来,中国科技正带着澎湃动力向前奔跑,并逐渐进入到跟跑、并跑、领跑“三跑并存”的阶段。但与发达国家相比,我国不少领域关键核心技术受制于人,亟待集中力量奋力攻关。

由于我国技术基础比较薄弱,不但要攻克技术上的难点,还要解决攻克过程中的管理问题。在供应链的打造和高科技行业上受到国外的限制等,使得我国整个技术门类还不健全,整个资源链还不完善,现在一方面以自主创新为主,一方面用更宽泛的国际视野面向全球整合资源。

我国高速发展,吸引了全球高科技人才、组织对我们充满期待,这样迎来了利用国际资源解决自身瓶颈,使得SMEE在坚持自主创新的同时全球化、国际化,相信距离用中国的光刻机制作中国芯的时代不远了。

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